Snímače tlaku sa používajú na meranie tlaku kvapalín a plynov. Bežné typy zahŕňajú MEMS kremíkové piezorezistívne tlakové senzory, MEMS kremíkové rezonančné tlakové senzory, keramické kapacitné tlakové senzory, kovové kapacitné tlakové senzory, naprašované tenkovrstvové tlakové senzory{1}} a kovové tenzometre tlakové senzory. Ich prevádzkové scenáre sa líšia v závislosti od princípu fungovania.
MEMS kremíkový piezorezistívny tlakový senzor:Toto je najpoužívanejší typ snímača tlaku. Jeho hlavný rozsah merania pokrýva 15 kPa až 100 MPa, s typickou presnosťou v rozsahu od 0,05 % FS do 3 % FS. Rozsah prevádzkovej teploty je zvyčajne -55 stupňov až 180 stupňov . Keďže je kompatibilný s rozsiahlymi{11}procesmi výroby polovodičov, je lacný. Na meranie kvapaliny je potrebný izolačný obal naplnený olejom.
MEMS kremíkový rezonančný tlakový senzor: Tento snímač využíva dômyselný dizajn, ktorý premieňa tlak na zmenu rezonančnej frekvencie mikro-lúča. Keďže frekvencia lúča závisí len od jeho štruktúry a teploty a využíva filtračné efekty, dosahuje tento snímač vysokú výstupnú presnosť až 0,01 % FS. Jeho hlavný rozsah merania tlaku pokrýva 100 kPa až 40 MPa s rozsahom prevádzkových teplôt od -55 stupňov do 85 stupňov. Vďaka komplexnej výrobe a vysokým nákladom je vhodný pre aplikácie vyžadujúce extrémne vysokú presnosť, ako je spracovanie polovodičov a meranie hĺbky oceánu.
Keramický kapacitný snímač tlaku:Keramický materiál ponúka vynikajúcu odolnosť proti opotrebeniu, vďaka čomu je tento snímač vhodný na meranie tlaku v zmesiach piesku a kalov. Poskytuje tiež dobrú odolnosť proti korózii, čo umožňuje meranie korozívnych kvapalín, ako je kyselina sírová. Senzory tlaku na báze keramiky navyše dokážu odolať zamŕzaniu vody-, čo je funkcia, ktorú nemožno dosiahnuť pomocou senzorov MEMS.
Kovový kapacitný snímač tlaku:Tento snímač využíva kovovú membránu ako na tlak citlivú pohyblivú elektródu, ktorá tvorí kondenzátor s pevnou elektródou. Keď tlak pôsobí na membránu, kapacita medzi elektródami sa mení, čím sa vytvára vzťah tlak-kapacita. Kovové membrány môžu byť vyrobené z materiálov odolných voči korózii, ako je Inconel, a môžu merať veľmi nízke tlaky (0–1/10/100/1000 Torr). V dôsledku toho má široké uplatnenie vo vákuovom meraní a meraní špeciálnych plynov v polovodičovom priemysle.
PrskalThin-filmTlakový senzor a kovový tenzometrický tlakový senzor:Oba snímače sú vybavené materiálom citlivým na{0}}sila potiahnutom na veľkom kovovom povrchu, vďaka čomu je produkt robustný a odolný. Sú vhodné pre vysokotlakové rozsahy a aplikácie vyžadujúce vysokú spoľahlivosť, ako je žltá technika, dieselové motory a stroje na razenie tunelov. Tieto snímače nie je ľahké vyrobiť ako snímač absolútneho tlaku a zvyčajne dokážu pokryť maximálne rozsahy až do 200 MPa alebo vyššie. Prvý obrázok vyššie zobrazuje nastriekané jadro snímača s tenkým filmom-, zatiaľ čo druhý obrázok zobrazuje jadro kovového tenzometra.
Výber tlakového snímača musí byť založený na skutočných prevádzkových podmienkach, aby sa plne využil jeho výkon. Spoločnosť Mihui Technology sa špecializuje na snímače tlaku založené na rôznych princípoch, pričom ponúka kompletné možnosti návrhu, výroby a výroby, aby zákazníkom poskytla najvhodnejšie riešenia. Vitajte a kontaktujte nás, ak máte záujem:Telefónne číslo: +8618066965135; E-mail: mihuitec@gmail.com
